本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD（原子層堆積）/ALE（原子層エッチング）技術について、その基礎と応用について概説します。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介します。また、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイスに応用した時の特長や課題についても紹介します。
1）セミナーテーマ及び開催日時
テーマ：ALD（原子層堆積）/ ALE（原子層エッチング）技術の基礎と応用
開催日時：2023年8月29日（火）10：00～16：00
参 加 費：55,000円（税込） ※ 資料付
＊ メルマガ登録者は 49,500円（税込）
＊ アカデミック価格は 26,400円（税込）
講 師：浦岡 行治 氏 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
【セミナーで得られる知識】
・ 半導体プロセス技術全般（特にALD技術）
・ 半導体デバイス技術（特にMOSデバイス）
・ 半導体材料の評価技術（電気的/化学的/物理的）
※本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
2）申し込み方法
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
https://cmcre.com/archives/109585/
からお申し込みください。
折り返し、 視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。
3）セミナープログラムの紹介
1. 薄膜形成技術の基礎
1.1 薄膜作製の基礎
1.2 薄膜の評価方法
1.2.1 電気的評価
1.2.2 化学的分析法
1.2.3 光学的評価法
2. ALD技術の基礎
2.1 ALD技術の原理
2.2 ALD薄膜の特長
2.3 ALD技術の歴史
2.4 ALD装置の仕組み
2.5 ALD技術の材料
3. ALD技術の応用
3.1 パワーデバイスへの応用
3.2 酸化物薄膜トランジスタへの応用
3.3 MOS LSIへの応用
4. ALE技術の基礎
4.1 ALEの歴史
4.2 ALEの原理
5. ALE技術の応用事例
3.1 シリコン、窒化ガリウム等半導体材料への応用
3.2 シリコン酸化膜、窒化膜等絶縁膜への応用
3.3 Co等金属膜への応用
6. ALD/ALE技術の課題と展望
4）講師紹介
【講師経歴】
1985年3月 豊橋技術科学大学大学院 電気電子修士修了
1985年4月 松下電器産業（株） 半導体研究センター
1996年4月 松下電器産業（株） 液晶開発センター
1999年4月 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 助教授
2009年4月 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
【活 動】
1. 応用物理学会 フェロー
2. IEEE シニアメンバー
3. IEEE/AMFPD 国際学会実行委員長
4. JJAP/APEX 副編集委員長
5. CMC出版「低温ポリシリコントランジスタの開発」
6. Intelligent Nanosystems for Energy, Information and BiologicalTechnologies（ISBN:978-4-431-56427-0 (Print) 978-4-431-56429-4 (Online)）
5）セミナー対象者や特典について
※ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
【セミナー対象者】
・ 半導体プロセス・デバイス技術者・学生/教員・企業関係者・研究企画関係者
☆詳細とお申し込みはこちらから↓
https://cmcre.com/archives/109585/
6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内
〇日本・欧州のプラスチック容器包装リサイクル 現状および最新動向
開催日時：2023年8月8日（火）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/113394/
〇微細藻類・海洋微生物の産業利用と最新動向
開催日時：2023年8月21日（月）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/114177/
〇グリーン水素製造技術の基礎と応用、開発動向
開催日時：2023年8月21日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/113078/
〇リン酸カルシウム系セラミックバイオマテリアル
～ 基礎から最新研究まで ～
開催日時：2023年8月22日（火）13：30～15：00
https://cmcre.com/archives/113526/
〇導電性コンポジットの開発に向けたフィラーの種類、特性と配合・分散技術
開催日時：2023年8月22日（火）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/104000/
〇汎用リチウムイオン電池の性能・劣化・寿命評価
― 各電極・電池の詳細な電気化学的解析を含む ―
開催日時：2023年8月23日（水）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/111916/
〇工業触媒の基礎とスケールアップへの応用
～ 触媒劣化対策・触媒プロセス開発と企業化例・CO2削減技術 ～
開催日時：2023年8月24日（木）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/110091/
〇電気自動車やプラグインハイブリッド車などの電動車の熱マネジメント技術
開催日時：2023年8月25日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/112531/
〇有機フッ素化合物の最新規制動向と要求事項
開催日時：2023年8月25日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/114190/
〇実機動画で学ぶ半導体洗浄の要点とトラブル対策
開催日時：2023年8月25日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/112473/
〇グローバル産業用ドローン及び空飛ぶ車エアモビリティ (有人)
その市場動向と“造らずに創る”この取組みを通じた日本市場の成長
開催日時：2023年8月25日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/114696/
〇官能評価の基礎と手順・手法の勘所
開催日時：2023年8月28日（月）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/110800/
〇塗布膜乾燥のメカニズムと乾燥トラブル対策
開催日時：2023年8月28日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/111962/
〇シランカップリング剤のすべてが分かる一日速習セミナー
シランカップリング剤の基礎と応用
～ 効果的活用法・反応機構・処理効果・具体的応用例 ～
開催日時：2023年8月28日（月）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/113968/
☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
7）関連書籍のご案内
（1）酸化物半導体薄膜技術の全て(第2弾)
https://cmcre.com/archives/59113/
■ 発 行：2020年4月30日
■ 著 者：鵜飼 育弘
■ 定 価：60,000 円（税込 66,000 円）
★ メルマガ会員：定価の10％引き！
■ 体 裁：A4判・並製・本文 161頁・カラー
■ 編集発行：（株）シーエムシー･リサーチ
ISBN 978-4-904482-77-3
↓詳細とご購入はこちらから
https://cmcre.com/archives/59113/
（2）酸化物半導体薄膜技術の全て
https://cmcre.com/archives/52376/
■ 発 行：2019年10月10日
■ 著 者：鵜飼 育弘
■ 定 価：70,000 円（税込 77,000円）
＊2020年4月30日 第2弾 発行に合わせて
定価99,000円（税込）を値下げしました。
★ メルマガ会員：定価の10％引き！
■ 体 裁：A4判・並製・本文205頁・カラー
■ 編集発行：（株）シーエムシー･リサーチ
ISBN 978-4-904482-66-7
↓詳細とご購入はこちらから
https://cmcre.com/archives/52376/
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
以上
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