本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD（原子層堆積）/ALE（原子層エッチング）技術について、その基礎と応用について概説します。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介します。また、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイスに応用した時の特長や課題についても紹介します。
1）セミナーテーマ及び開催日時
テーマ：ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用
開催日時：2022年8月10日（水）10:30～16:30
参 加 費：55,000円（税込） ※ 資料付
＊ メルマガ登録者は 49,500円（税込）
＊ アカデミック価格は 26,400円（税込）
講 師：浦岡 行治 氏 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
【セミナーで得られる知識】
・ 半導体プロセス技術全般（特にALD技術）
・ 半導体デバイス技術（特にMOSデバイス）
・ 半導体材料の評価技術（電気的/化学的/物理的）
※本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
2）申し込み方法
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
https://cmcre.com/archives/98178/
からお申し込みください。
折り返し、 視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。
3）セミナープログラムの紹介
1. 薄膜形成技術の基礎
1.1 薄膜作製の基礎
1.2 薄膜の評価方法
1.2.1 電気的評価
1.2.2 化学的分析法
1.2.3 光学的評価法
2. ALD技術の基礎
2.1 ALD技術の原理
2.2 ALD薄膜の特長
2.3 ALD技術の歴史
2.4 ALD装置の仕組み
2.5 ALD技術の材料
3. ALD技術の応用
3.1 パワーデバイスへの応用
3.2 酸化物薄膜トランジスタへの応用
3.3 MOS LSIへの応用
4. ALE技術の基礎
4.1 ALEの歴史
4.2 ALEの原理
5. ALE技術の応用事例
3.1 シリコン、窒化ガリウム等半導体材料への応用
3.2 シリコン酸化膜、窒化膜等絶縁膜への応用
3.3 Co等金属膜への応用
6. ALD/ALE技術の課題と展望
4）講師紹介
【講師経歴】
1985年3月 豊橋技術科学大学大学院 電気電子修士修了
1985年4月 松下電器産業（株） 半導体研究センター
1996年4月 松下電器産業（株） 液晶開発センター
1999年4月 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 助教授
2009年4月 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
【活 動】
1. 応用物理学会 フェロー
2. IEEE シニアメンバー
3. IEEE/AMFPD 国際学会実行委員長
4. JJAP/APEX 副編集委員長
5. CMC出版「低温ポリシリコントランジスタの開発」
6. Intelligent Nanosystems for Energy, Information and BiologicalTechnologies（ISBN:978-4-431-56427-0 (Print) 978-4-431-56429-4 (Online)）
5）セミナー対象者や特典について
※ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
【セミナー対象者】
・ 半導体プロセス・デバイス技術者・学生/教員・企業関係者・研究企画関係者
☆詳細とお申し込みはこちらから↓
https://cmcre.com/archives/98178/
6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内
〇 シリコーンの基本知識と高機能化の応用事例
開催日時：2022年7月27日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/97150/
〇 分離プロセスの工業装置へのスケールアップノウハウ
開催日時：2022年7月27日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/99035/
〇 火災事故に学ぶ、LiB電池の安全対策
開催日時：2022年7月28日（木）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/97529/
〇 半導体洗浄の工学的基礎と要点、トラブル対策の視点
開催日時：2022年7月29日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/97712/
〇 バイオプラスチック／生分解性プラスチックの開発動向と海洋分解
開催日時：2022年7月29日（金）13：30～17：30
https://cmcre.com/archives/97697/
〇 廃熱で冷凍、廃熱で発電、熱音響機関について
開催日時：2022年8月1日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/98148/
〇 燃料アンモニア製造技術と将来展望
開催日時：2022年8月2日（火）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/97990/
〇 欧州における車載樹脂のリサイクル技術の動向
開催日時：2022年8月2日（火）13：30～15：00
https://cmcre.com/archives/98836/
〇 カーボンニュートラルと自動車用材料
開催日時：2022年8月2日（火）12：30～16：30
https://cmcre.com/archives/98926/
〇 リチウムイオン電池のリユースに向けた残量推定・劣化診断技術
開催日時：2022年8月3日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/99501/
〇 DX時代の航空宇宙事業、新たな事業環境認識によるものづくり
開催日時：2022年8月4日（木）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/98944/
〇 微生物の分離・培養・同定の基礎とトラブル対策
開催日時：2022年8月4日（木）13：00～14：30
https://cmcre.com/archives/99440/
〇 GFRP＆CFRPのリサイクル技術の動向・課題と回収材の用途開発
開催日時：2022年8月4日（木）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/98546/
☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
7）関連書籍のご案内
（1）酸化物半導体薄膜技術の全て(第2弾)
https://cmcre.com/archives/59113/
■ 発 行：2020年4月30日
■ 著 者：鵜飼 育弘
■ 定 価：60,000 円（税込 66,000 円）
★ メルマガ会員：定価の10％引き！
■ 体 裁：A4判・並製・本文 161頁・カラー
■ 編集発行：（株）シーエムシー･リサーチ
ISBN 978-4-904482-77-3
↓詳細とご購入はこちらから
https://cmcre.com/archives/59113/
（2）酸化物半導体薄膜技術の全て
https://cmcre.com/archives/52376/
■ 発 行：2019年10月10日
■ 著 者：鵜飼 育弘
■ 定 価：70,000 円（税込 77,000円）
＊2020年4月30日 第2弾 発行に合わせて
定価99,000円（税込）を値下げしました。
★ メルマガ会員：定価の10％引き！
■ 体 裁：A4判・並製・本文205頁・カラー
■ 編集発行：（株）シーエムシー･リサーチ
ISBN 978-4-904482-66-7
↓詳細とご購入はこちらから
https://cmcre.com/archives/52376/
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
以上
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